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微結構表面光學元件在軍事、航天、能源等領域有廣泛的應用,是光電子系統中的核心元件。傳統的多軸銑削難以滿足加工精度且效率低,其它的新型加工方法也存在著各種不足。而使用超精密車削加工技術可以直接車削加工出納米級精度的微結構表面??斓端欧都苁羌庸の⒔Y構表面的關鍵,它決定了系統可以加工的微結構表面的復雜程度和加工后的表面精度,所以快速刀具定位系統FTS必須要能夠實現高頻率和高精度的進給。由于刀架-快速刀具定位器的核心部件具有遲滯特點,增加了FTS的進給誤差,因此對壓電陶瓷建立了傳感反饋控制機制,實現了對快刀伺服刀架的精確控制,且穩定性好,精度較高,易集成。

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