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      電容式非接觸式測微儀,通過電容測頭可以測量0-200μm范圍內的微小位移,測量精度為納米級。測微儀由機箱與傳感模塊組成,可組成多測量通道數。

      它基于一個理想的平行板電容器原理,傳感器與相對面被測目標形成的兩個電極,采用保護環電容器原理,用于測量任何金屬時,傳感器仍是線性的。

 

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