中空式壓電掃描臺是移動臺面有透空通孔的直線壓電平臺，可將負載以亞納米級精度移動。壓電掃描臺具有高可靠性、高分辨率，且具有非常優秀的運動線性度和平面度，及更高的機械強度。經常在顯微步進中使用。它的快速步進與穩定的運動改善了光學系統中的分辨率。這包括相機成像過程技術和圖像識別，例如生物識別技術。而且，它具有一個獨特的特點，在中心處有一個大的中孔。這可在光學路徑中創造更好光學路徑條件。
中空式壓電掃描臺主要應用于透光精密光學器件的定位與調整，可與顯微鏡和分析設備結合使用用于定位與測量。如掃描探針顯微（例如AFM原子力顯微鏡）、納米定位、計量、生物學研究、微電子、微操作、精密控制等。
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