在半導體領域，我公司提供各種基于壓電陶瓷的解決方案，包括用于減震的長壽命壓電元件，用于定位的高性能大行程納米定位陶瓷。其他的精密運動產品還包括用于快速光束穩定/角度校正的壓電偏擺平臺，用于納米測量應用的壓電柔性納米臺，用于掩模對準的納米對準系統，用于水平和垂直定位的新型混合大行程納米定位臺。
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應用 |
解決方案 |
典型產品 |
產品展示 |
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納米壓印 光盤測試 掩模與晶圓對準 物鏡精密定位 光刻 |
多軸壓電系統 納米定位臺 壓電促動器 納米聚焦系統 |
定制六軸精密壓電定位臺 P16壓電定位掃描臺 P76/P72物鏡壓電定位器 |
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光學干涉 |
閉環壓電促動器與柔性導向系統 |
定制大行程物鏡掃描器
XP-63X高精度納米定位器 |
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電纜接合 |
壓電彎片促動器 |
壓電彎曲片 |
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光學測試/六軸定位 |
6軸并聯機構微定位系統 |
N90 Hexapod 6軸定位系統 定制大行程Hexapod系統 |
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大行程納米對準系統 |
鉸鏈放大壓電促動器 1-6軸壓電柔性定位臺 |
P11.XYZ壓電定位臺
大推力壓電促動器 |
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光束掃描與穩定 光學路徑校正 |
快速壓電偏擺鏡系統 |
P34 微型壓電偏擺鏡 P33 高動態壓電偏擺鏡 |
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主動減震 |
壓電堆促動器與陶瓷 |
大推力壓電促動器 高壓壓電陶瓷 薄片型壓電傳感器/致動器 |
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縱向晶圓定位 |
壓電Z/Tip/Tilt偏擺臺 |
P54壓電Z向及Z/Tip/Tilt定位平臺 定制六軸精密壓電納米定位臺 |
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