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P84大行程壓電測微頭當前位置:產品首頁 >> 機構放大式促動器>>P84大行程壓電測微頭
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      P84為標準測微頭與可產生高分辨率位移的壓電陶瓷機構相結合,通過手動調節大范圍的測微頭實現13mm大范圍的移動,再通過控制驅動電壓,使壓電陶瓷機構相應伸長或縮短到預定位置,從而實現對壓電陶瓷驅動測微頭高分辨率的精調節。


  宏微復合機構 

     宏微復合機構是通過宏動調節測微頭與壓電微動調節機構完成大范圍精密定位需求。


壓電微調機構 手調測微頭 宏微復合機構




  配套宏動臺可以組成1-3維大行程位移臺 




     通過測微頭與壓電微調機構相結合的方式實現宏微復合機構,宏微復合機構可以與宏動平臺配合使用,組成大行程高精度壓電平移臺。


  驅動示意圖 


  供貨周期 

     2~3周發貨

  技術參數 

型號

尾輟S-閉環

P84.X100S

P84.X100K

單位

尾輟K-開環

運動自由度

X

X

 

行程范圍(粗調+精調)

13mm+100μm

13mm+100μm

mm+μm

殼體材料

鋼、鋁

鋼、鋁

 

粗調行程范圍

13

13

mm

粗調分辨率

10

10

μm

驅動方式

螺紋副(分厘卡)

螺紋副(分厘卡)

 

靈敏度

<2

<2

μm

讀數

10

10

微米/格

螺距

0.5

0.5

mm/rev.

精調行程范圍

0~120 V

80

80

μm±20%

0~150 V

100

100

μm±20%

傳感器類型

SGS

-

 

步進(分辨率)

7

2.5

nm, typ.

閉環線性度

0.1

-

%F.S.

重復定位精度

0.05

-

%F.S.

運動方向推力

16

16

N

運動方向的剛度

1

1

N/μm±20%

承載能力(Z向)

500

500

g

工作溫度范圍

-20~80

-20~80

°C

靜電容量

1.8

1.8

μF±20%

出線長

1.5

1.5

m±10mm

傳感/電壓連接器

LEMO

LEMO


注:壓電驅動的標稱行程是在 0~120V 的驅動電壓下的位移行程,驅動電壓可在 -20V~150V;對于高可靠的長期使用,建議驅動電壓在0~120V。


  尺寸圖 


  尺寸圖、參數表、使用說明書下載 
  Auto CAD PDF

Auto CAD PDF下載

  Step

STEP尺寸圖下載

  參數表/Specs Sheet

參數表下載

  使用說明書/Manual

使用說明書下載

型號

尾輟S-閉環

P84.X100S

P84.X100K

單位

尾輟K-開環

運動自由度

X

X

 

行程范圍(粗調+精調)

13mm+100μm

13mm+100μm

mm+μm

殼體材料

鋼、鋁

鋼、鋁

 

粗調行程范圍

13

13

mm

粗調分辨率

10

10

μm

驅動方式

螺紋副(分厘卡)

螺紋副(分厘卡)

 

靈敏度

<2

<2

μm

讀數

10

10

微米/格

螺距

0.5

0.5

mm/rev.

精調行程范圍

0~120 V

80

80

μm±20%

0~150 V

100

100

μm±20%

傳感器類型

SGS

-

 

步進(分辨率)

7

2.5

nm, typ.

閉環線性度

0.1

-

%F.S.

重復定位精度

0.05

-

%F.S.

運動方向推力

16

16

N

運動方向的剛度

1

1

N/μm±20%

承載能力(Z向)

500

500

g

工作溫度范圍

-20~80

-20~80

°C

靜電容量

1.8

1.8

μF±20%

出線長

1.5

1.5

m±10mm

傳感/電壓連接器

LEMO

LEMO


注:壓電驅動的標稱行程是在 0~120V 的驅動電壓下的位移行程,驅動電壓可在 -20V~150V;對于高可靠的長期使用,建議驅動電壓在0~120V。


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